TESCAN GAIA3电镜体系完善的集成了超高分辩率的电子光学体系和高机能的离子束体系，两者设置装备摆设于统一样品室上。GAIA3电镜以MAIA3场发射澳门welcome 为平台，在保留MAIA3优胜机能的根本上，增添了利用聚焦离子束停止样品外表处置的功效。GAIA3具备立异性的场发射电镜设想，低电压下仍具备超卓的分辩率，大大进步了其成像才能。与普通电镜的电磁物镜比拟，GAIA3具备较窄小的电磁物镜，同时InBeam-SE探头和InBeam-BSE探头的地位都位于透镜内，这些设想都为FIB及其他阐发装备供给了充沛空间，使之可以或许或许或许在样品外表实现多项任务。

GAIA3的凸起特色

·单极60°电磁物镜设想，绝佳的SEM分辩率

·一流的多种成像形式—大视场形式，分辩率形式和景深形式—这些功效都基于TESCAN独占的大视场光学体系设想

·马达节制的精准样品台，可停止切确的挪动或倾转操纵

·Field-free形式下可对磁性样品停止有用察看

·高达200nA的束流强度

·逗留时候低至20ns的疾速电子束刻蚀速率

·FIB的Cobra光学体系，确保聚焦离子束极高的分辩率和优良的机能，离子束流为1pA到50nA

·壮大的DrawBeam软件包，包罗很多可编程设想模块（根本版和高等版）来实现扫描及制样等进程中可调参数的多样化

·不只具备对样品外表停止润色和察看的多种功效，完善的空间设想还可以或许或许或许使电镜经由过程接口兼容多种探测装备与手艺手腕，且还能坚持分歧的最好阐发任务间隔

GAIA3的功效特色

对纳米标准物资的成像阐发及节制，是现今顺遂展开研讨任务的关头，这请求前沿的手艺手腕具备分辩率、精确度、可反复性、不变性和矫捷性等多方面的优良机能。

在前几代电镜体系的胜利根本上，TESCAN推出了GAIA3新一代电镜体系。它坚持了SEM不相上下的纳米级分辩率特色，同时还集成了优胜的COBRA-FIB聚焦离子束功效，使新一代GAIA3电镜具有加倍多元化的阐发装备兼容性，进步了阐发规模和阐发才能。

GAIA3的一个凸起长处在于它低电压下的扫描电子成像功效，分辩率很高。这对研讨电子敏感资料或是导电性差的样品极其主要，低电压可以或许或许下降电子与资料彼此感化，从而保障好的分辩率同时还能取得好的低电压衬度。

COBRA-FIB聚焦离子束体系是一项顶尖手艺，不管成像摄影仍是样品微观加工，都能坚持很高的尺寸分辩率，是纳米工程范畴最好的FIB装备。

体系矫捷性与东西多样性

TESCAN努力于为科研职员供给操纵便利、成果靠得住、体系不变的处置计划与手艺手腕。TESCAN装备怪异的用户分级设想可以或许或许或许知足一切操纵者的需要，不管你是利用专家，仍是偶然操纵职员（只要要经由过程简略操纵便可取得超卓的尝试成果）。利用专家形式是为持久利用TESCAN电镜体系，可以或许或许或许充实领会和阐扬电镜矫捷性和扩大功效的谙练操纵职员设想。TESCAN电镜体系将浩繁功效特色整合于全方位的交互界面，便利疾速实现SEM和FIB各类任务形式与功效的察看前提设置。

利用GAIA3电镜可以或许或许轻松取得极佳的图象品质与衬度，特别是其怪异的低电压摄影功效。固然，二次电子（SE）与背散射电子（BSE）摄影形式在高电压与低电压前提下都可利用，取得高品质样品照片。

GAIA3还装备了进步前辈的自在伸缩式STEM探头，利用FIB制得TEM薄片样品后可间接停止电镜察看。别的，在FIB与SEM双束电镜上装置飞翔时候-二次离子质谱仪（TOF-SIMS），一方面可以或许或许或许进步质谱敏理性，另外一方面利用FIB对样品外表持续停止持续切割，可取得样品品质散布的三维散布图。

GAIA软件与主动化操纵体系
TESCAN的用户友爱型软件、很多主动化法式、长途节制体系及剧本库都努力于赞助用户取得超卓的成果，获得业界与用户的分歧承认。GAIA3更是为经历丰硕的用户供给了专家级体系设置的拜候权，利用户可以或许或许或许按照本身需要停止察看前提的最优化设置。GAIA3具有多用户利用情况、模块化软件设想、收集操纵节制和浩繁的扩大功效，是一款矫捷周全的电镜装备。